标准编号：SJ/T 10152-1991
中文名称：集成电路主要工艺设备术语
发布日期：1991-04-02
实施日期：1991-07-01
批准发布部门：电子工业部
标准范围
本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。 本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。
SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语
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