标准编号：SJ/T 10479-1994
中文名称：自动砂轮划片机通用技术条件
发布日期：1994-04-11
实施日期：1994-10-01
批准发布部门：电子工业部
标准范围
本标准规定了自动砂轮划片机的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于切割分离半导体硅片、石英、陶瓷等材料的划片机。
SJ/T 10479-1994 自动砂轮划片机通用技术条件
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