标准编号：GB/T 39144-2020
中文名称：氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
英文名称：Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
发布日期：2020-10-11
实施日期：2021-09-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
马农农、何友琴、何烜坤、杨素心、颜建锋、倪青青、陈潇、刘立娜、闫方亮、杨丽霞
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、东莞市中镓半导体科技有限公司、厦门市科力电子有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、有色金属技术经济研究院
标准范围
本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×1014cm-3。
注:氮化镓材料中的镁含量以每立方厘米中的原子数计。
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