标准编号：GB/T 38616-2020
中文名称：纳米定位与扫描平台术语
英文名称：Terminology for nano positioning and scaning stage
发布日期：2020-04-28
实施日期：2020-11-01
归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
起草人
须颖、戴敬、施玉书、贾静、王贺、安冬、邵萌、戴超、文杰
起草单位
沈阳建筑大学、广东工业大学、苏州昊通仪器科技有限公司、三英精控（天津）仪器设备有限公司、中国计量科学研究院、沈阳理工大学
标准范围
本标准界定了纳米定位与扫描平台（以下简称平台）的术语定义。
本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。
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