标准编号：GB/T 36653-2018
中文名称：电子级三甲基铝
英文名称：Electronic grade trimethylaluminium
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-01-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰
起草单位
江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院
标准范围
本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式：C3H9Al
相对分子质量：72.09（按2013年国际相对原子质量计算）
立即下载标准文件