标准编号：GB/T 34899-2017
中文名称：微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
英文名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
石云波、唐军、李海斌、朱悦、程红兵、崔建功
起草单位
中北大学、中机生产力促进中心
标准范围
本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。
本标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。
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