标准编号:GB/T 20510-2017
代替以下标准:GB/T 20510-2006
中文名称:氧化铟锡靶材
英文名称:Indium-tin oxide target
发布日期:2017-10-14
实施日期:2018-05-01
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门:中国有色金属工业协会
起草人
谭仪文、黄剑、孙振德、梅方胜、彭小苏、郗雨林、崔晓芳、张士察
起草单位
株洲冶炼集团股份有限公司、北京冶科纳米科技有限公司、中国船舶重工集团公司第725研究所
标准范围
本标准规定了氧化铟锡(简称ITO)靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存、质量证明书、订货单(或合同)内容等。
本标准适用于以99.99%金属铟、锡为原料生产的氧化铟锡靶材,用于制作透明导电膜。