标准编号:GB/T 33838-2017
中文名称:微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法
英文名称:Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Methods of evaluating image sharpness
发布日期:2017-05-31
实施日期:2018-04-01
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
批准发布部门:国家标准化管理委员会
起草人
丁泽军、阮瞩
起草单位
中国科学技术大学物理学院
标准范围
本标准规定了用于评估扫描电子显微镜(SEM)生成的数字图像锐度的3种方法:傅立叶变换(FT)法、衬度一梯度(CG)法、导数(DR)法。