标准编号：GB/T 31987-2015
中文名称：电子工业用气体 锗烷
英文名称：Gas for electronic industry—Germane
发布日期：2015-09-11
实施日期：2016-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
方华、裴友宏、陈熔、周鹏云、郭秀丽、林宇巍
起草单位
上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院、佛山市华特气体有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)
标准范围
本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式:GeH4。
相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。
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