标准编号：GB/T 11446.9-2013
代替以下标准：GB/T 11446.9-1997
中文名称：电子级水中微粒的仪器测试方法
英文名称：Test method for particles in electronic grade water by instrument
发布日期：2013-12-31
实施日期：2014-08-15
归口单位：工业和信息化部（电子）
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
起草人
王奕、褚连青、何秀坤、段曙光
起草单位
信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所
标准范围
GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。
本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的微粒粒径不小于0.05μm,微粒的浓度范围为0~10000个／mL。
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