标准编号:GB/T 11446.1-2013
代替以下标准:GB/T 11446.1-1997
中文名称:电子级水
英文名称:Electronic grade water
发布日期:2013-12-31
实施日期:2014-08-15
归口单位:工业和信息化部(电子)
批准发布部门:工业和信息化部(电子)
起草人
褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺
起草单位
信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所
标准范围
GB/T 11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则。本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水。