标准编号:GB/T 11446.6-2013
代替以下标准:GB/T 11446.6-1997
中文名称:电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
英文名称:Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer
发布日期:2013-12-31
实施日期:2014-08-15
归口单位:工业和信息化部(电子)
批准发布部门:工业和信息化部(电子)
起草人
王奕、褚连青、何秀坤、段曙光
起草单位
信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所
标准范围
GB/T 11446的本部分规定了电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法。 本标准适用于电子级水中二氧化硅的测定,其中检出限为1μg/L。