标准编号：GB/T 15872-2013
代替以下标准：GB/T 15872-1995
中文名称：半导体设备电源接口
英文名称：Power supply interface for semiconductor equipment
发布日期：2013-12-17
实施日期：2014-05-15
归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
起草人
朱忠尼、亓迎川、梅昌义、祁承超
起草单位
中国人民解放军空军雷达学院、工业和信息化部电子工业标准化研究院
标准范围
本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别,选择电器附件、导线和电缆的要求等。 本标准适用于半导体设备的电源接口。
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