标准编号：GB/T 20522-2006
中文名称：半导体器件 第14-3部分: 半导体传感器-压力传感器
英文名称：Semiconductor devices Part 14-3: Semiconductor sensors - Pressure sensors
发布日期：2006-08-23
实施日期：2007-02-01
归口单位：全国半导体器件标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
起草人
张秋、陈勤
起草单位
中国电子技术标准化研究所
标准范围
本标准规定了测量绝压、表压和差压的半导体传感器的要求。
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