GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

标准编号：GB/T 11068-2006

代替以下标准：GB/T 11068-1989

中文名称：砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

英文名称：Gallium arsenide epitaxial layer - determination of carrier concentration voltage-capacitance method

发布日期：2006-07-18

实施日期：2006-11-01

归口单位：中国有色金属工业协会

批准发布部门：中国有色金属工业协会

起草人

王彤涵

北京有色金属研究总院

本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法，适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围：1×10<上标14>cm<上标-3>～5×10<上标17>cm<上标-3>。