标准编号：GB/T 20175-2006
中文名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
英文名称：Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
查良镇、陈旭、黄天斌、刘林、王光普、黄雁华
起草单位
清华大学电子工程系
标准范围
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。 特殊多层膜系的使用不包括在本标准内。
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