标准编号：GB/T 18994-2003
中文名称：电子工业用气体 高纯氯
英文名称：Gases for electronic industry--High purity chlorine
发布日期：2003-03-05
实施日期：2003-08-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
光明化工研究设计院
标准范围
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。分子式：Cl2。相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。101．3 kPa下的沸点：一34．O5℃。101．3 kPa下的熔点：一l01．0。C。101．3 kPa及20℃下气体的密度：2．980 k9／m3。
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