标准编号：GB/T 11164-1999
中文名称：真空镀膜设备通用技术条件
英文名称：Vacuum coating plant generic specification
发布日期：1999-04-08
实施日期：1999-09-01
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
批准发布部门：中国机械工业联合会
起草单位
上海曙光机械制造厂
标准范围
本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在10<上标-4>～10<上标-3>Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。
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