GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范

标准编号：GB/T 16523-1996

中文名称：圆形石英玻璃光掩模基板规范

英文名称：Specification for round quartz photomask substrates

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草单位

长沙韶光微电子总公司

标准范围

本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。

标准预览图