GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范

标准编号：GB/T 16524-1996

中文名称：光掩模对准标记规范

英文名称：Specification for registration marks for photomasks

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草单位

中国科学院微电子中心

标准范围

本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。

标准预览图