标准编号：GB/T 16594-1996
中文名称：微米级长度的扫描电镜测量方法
英文名称：Micron grade length measurement by SEM
发布日期：1996-11-04
实施日期：1997-04-01
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
上海市测试技术研究所
GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法
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