GB/T 12963-1996 硅多晶

国家标准

标准编号：GB/T 12963-1996

中文名称：硅多晶

英文名称：Polycrystalline silicon

发布日期：1996-11-04

实施日期：1997-04-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草单位

峨眉半导体材料厂

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