标准编号：GB/T 15615-1995
中文名称：硅片抗弯强度测试方法
英文名称：Test method for measuring flexure strength of silicon slices
发布日期：1995-07-12
实施日期：1996-02-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
中南工业大学
GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法
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