标准编号:GB/T 14604-1993
中文名称:电子工业用气体 氧
英文名称:Gases for electronic industry--Oxygen
发布日期:1993-08-26
实施日期:1994-07-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:国家标准化管理委员会
起草单位
化工部西南化工研究院
标准编号:GB/T 14604-1993
中文名称:电子工业用气体 氧
英文名称:Gases for electronic industry--Oxygen
发布日期:1993-08-26
实施日期:1994-07-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:国家标准化管理委员会
化工部西南化工研究院