标准编号:GB/T 14264-1993

中文名称:半导体材料术语

英文名称:Semiconductor materials--Terms and definitions

发布日期:1993-03-20

实施日期:1993-12-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门:国家标准化管理委员会

起草单位

中国有色金属总公司标准所

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