GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片

标准编号：GB/T 14015-1992

中文名称：硅-蓝宝石外延片

英文名称：Silicon on sapphire epitaxial wafers

发布日期：1992-12-28

实施日期：1993-08-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草单位

天津半导体技术研究所

标准范围

本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。

标准预览图