标准编号：GB/T 13387-1992
中文名称：电子材料晶片参考面长度测量方法
英文名称：Test method for measuring flat length on slices of electronic materials
发布日期：1992-02-19
实施日期：1992-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
北京有色金属研究总院
GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法
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