标准编号:GB/T 11073-1989

中文名称:硅片径向电阻率变化的测量方法

英文名称:Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

发布日期:1989-03-31

实施日期:1990-02-01

归口单位:中国有色金属工业协会

批准发布部门:中国有色金属工业协会

起草单位

峨嵋半导体材料研究所

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