标准编号:GB/T 11073-1989
中文名称:硅片径向电阻率变化的测量方法
英文名称:Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
发布日期:1989-03-31
实施日期:1990-02-01
归口单位:中国有色金属工业协会
批准发布部门:中国有色金属工业协会
起草单位
峨嵋半导体材料研究所
标准编号:GB/T 11073-1989
中文名称:硅片径向电阻率变化的测量方法
英文名称:Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
发布日期:1989-03-31
实施日期:1990-02-01
归口单位:中国有色金属工业协会
批准发布部门:中国有色金属工业协会
峨嵋半导体材料研究所