标准编号：GB/T 4298-1984
中文名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
英文名称：The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
发布日期：1984-03-28
实施日期：1985-03-01
归口单位：中国有色金属工业协会
批准发布部门：中国有色金属工业协会
起草单位
有色金属研究总院
标准范围
本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。
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