标准编号：GB/T 47753-2026
中文名称：微机电系统（MEMS）技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范
英文名称：Micro-electro mechanical systems（MEMS）technology—Technical specification of automotive MEMS semiconductor gas sensor
发布日期：2026-07-02
实施日期：2027-02-01
提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准委
起草人
孙旭辉、张平平、孙亚轩、张幸伟、方东明、姚远、刘俐、胡永刚、周再发、杨绍松、漆奇、段国韬、冯军、姚鹏、李根梓、洪志强、尤睿、徐冬梅、张亚婷、朱敏杰、陈得民、魏向阳、耿彦红、王家聪、柳亮、田鑫、曹冬冬
起草单位
苏州慧闻纳米科技有限公司、东风汽车集团股份有限公司、上海矽睿科技股份有限公司、重庆渝微电子技术研究院有限公司、湖北省产品质量监督检验研究院、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、北京大学南昌创新研究院、无锡芯感智科技股份有限公司、上海芯物科技有限公司、华中科技大学、中国汽车技术研究中心有限公司、中机生产力促进中心有限公司、比亚迪汽车工业有限公司、北京信息科技大学、北京智芯微电子科技有限公司、北京智芯传感科技有限公司、武汉理工大学、东南大学、苏州市计量测试院、无锡华润上华科技有限公司、苏州感闻安全科技有限公司
标准范围
本文件规定了车规级MEMS半导体气体传感器的分类、基本参数、性能要求、试验方法。
本文件适用于采用MEMS工艺制作的车规级MEMS半导体气体传感器的设计、生产和检验。包括车内/外空气质量传感器、车载人体呼出气体传感器、汽车尾气传感器、新能源车动力安全气体传感器（如车用动力电池安全气体传感器和燃料电池车安全气体传感器）等。
标准预览图
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