GB/T 31058-2026 电子气体 四氟化硅

标准编号：GB/T 31058-2026

代替以下标准：GB/T 31058-2014

中文名称：电子气体 四氟化硅

英文名称：Electronic gas—Silicon tetrafluoride

发布日期：2026-04-30

实施日期：2026-11-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

栗广奉、张朝春、宋雄斐、林德荣、江罗、杜鹏举、王新鹏、汤萍、阳辉、吴文静、张净普、贾静姗、柳曦、袁有录、程化鹏、史婉君、方华、刘学生、赵跃、蒋昊、任超、梁永强、尹乐乐、殷昊、黄辉、张朋越、尹冬梅、刘智勇、王晓文、赵洁、任逸尘、董志仪、任希辉、刘英杰、唐霞梅、王康茂、赵斌、沈永淼、黄加斗、刘辉、刘志新、赵云、侯鹏、钱吉、马建修、唐忠福、殷玲、张楠、史兰、徐小捷、陈超、钟卉菲、夏红真、尚柏羊、韩伶利、贾任远、李安林、谈益强、朱安民、王阳、高静、范军、赖晓峰、杨扬仲夫、袁其龙、常燕、唐中伟、杨康、李洪佳、周鹏云

起草单位

浙江中宁硅业股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、成都产品质量检验研究院有限责任公司、湖北和远气体股份有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、太和气体（荆州）有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、三峡大学、贵州省产品质量检验检测院、浙江省化工研究院有限公司、大连大特气体有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、液化空气（中国）投资有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、中国计量科学研究院、和立气体（上海）有限公司、中国计量测试学会、福建优力特材料科技有限公司、天策标准化服务（天津）有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、福建德尔科技股份有限公司、浙江理工大学嵊州创新研究院有限公司、重庆同辉气体有限公司、齐磷科技（开阳）有限责任公司、大连华邦化学有限公司、福建福豆新材料有限公司、贵州瓮福蓝天氟化工股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、衢州市计量质量检验研究院、中国计量大学、上海华爱色谱分析技术有限公司、杭州云必技术有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、科哲（上海）阀门有限公司、联雄投资(上海)有限公司、攀钢集团攀枝花钢钒有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司成都分公司、北京睿信捷环保科技有限公司、上海市计量测试技术研究院有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处

标准范围

本文件规定了四氟化硅的技术要求采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求，描述了相应的试验方法。

本文件适用于以二氧化硅与氟化氢为原料制备或六氟硅酸钠分解制备或氟硅酸分解制备的四氟化硅。

标准预览图