标准编号：JJG 661-1990
中文名称：平面等倾干涉仪检定规程
英文名称：Verification Regulation of Flatness Interferoneter with Isoclinic Circle Fringe
发布日期：1990-02-06
实施日期：1990-11-01
归口单位：中国测试技术研究院
起草人
张成悌（中国测试技术研究院）
起草单位
中国测试技术研究院
标准范围
平面等倾干涉仪（以下简称仪器）是用于平面量值传递中的一种高精度仪器，主要用于检定尺寸较大的平晶（一般直径大于100mm，小于300mm）、各种尺寸的长平晶和标准平尺（研磨平尺）的平面度。
仪器采用点光源照明，汇聚的光斑照在上、下两块平晶（或长平晶）或长平晶和标准平尺组成的平面平行空气层上，并由空气层的上、下两个表面反射，经物镜在其焦面上形成等倾干涉圆环。空气层的平行度至少应保证在光斑范围内其尺寸差小于1/4光波半波长，才能有清晰的干涉环；为保证测量准确，在测量方向上空气层的平行度应小于0.3μm。
本规程适用于新制的、使用中和修理后的各种型号的平面等倾干涉仪的检定。不适用于只能估读干涉环干涉级小数的等倾干涉装置。
标准预览图
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