标准编号：T/FSS 133-2024
中文名称：佛山标准 光刻气 氪氩混合气
英文名称：Foshan standard Photolithography gases Krypton and argon mixed gases
发布日期：2024-09-26
实施日期：2024-09-29
团体名称：佛山市佛山标准和卓越绩效管理促进会
起草人
傅铸红、叶相平、邹宏栋、黄汉滨、吴维孟
起草单位
广东华特气体股份有限公司、佛山市佛山标准和卓越绩效管理促进会、佛山市标准化协会
标准范围
本文件规定了光刻气氪氩混合气的术语和定义、技术要求、制备、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全信息及质量承诺。
本文件适用于由高纯氪和高纯氩为原料制备的混合气体。
标准预览图
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