标准编号：GB/T 46698-2025
中文名称：电子级四氯化钛
英文名称：Electronic grade titanium tetrachloride
发布日期：2025-10-31
实施日期：2026-05-01
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准委
起草人
李楷东、童祎、史泽远、徐文涛、李开华、常燕、张金宝、赵俊莎、吴怡然、王炳、张宝帅、马昕、曹可慰、罗全安、李春华、马瑞、李俊强、许伟春、王丽娟、陈萍、万烨、李建军、姜士兵、曹轲
起草单位
武汉新硅科技潜江有限公司、中国电子技术标准化研究院、广州赛西标准检测研究院有限公司、中信钛业股份有限公司、新疆湘润新材料科技有限公司、云南国钛金属股份有限公司、苏州实验室、上海市计量测试技术研究院、攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司、洛阳双瑞万基钛业有限公司、洛阳中硅高科技有限公司
标准范围
本文件规定了电子级四氯化钛产品的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全警告等，描述了对应的试验方法。
本文件适用于电子级四氯化钛。该产品主要用于集成电路制造、前驱体材料合成，电子级二氧化钛、特种光纤、特种合成石英等的制造。
标准预览图
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