标准编号：GB/T 29056-2025
代替以下标准：GB/T 29056-2012
中文名称：硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称：Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry
发布日期：2025-10-31
实施日期：2026-05-01
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准委
起草人
万烨、郭树虎、赵培芝、吴作木、魏东亮、李强、甘俊、汤艳、刘见华、曹俊英、宋丹、王春明、冉祎、康俊勤
起草单位
洛阳中硅高科技有限公司、四川永祥新能源有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海丽豪清能股份有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、青海南玻新能源科技有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司
标准范围
本文件描述了硅外延用三氯氢硅中锂、硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、钼、砷、铅等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。
本文件适用于硅外延用三氯氢硅中杂质元素含量的测定。
标准预览图
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