GB/T 46173-2025 电子气体 惰性稀有气体

标准编号：GB/T 46173-2025

中文名称：电子气体 惰性稀有气体

英文名称：Electronic gas—Noble gas

发布日期：2025-10-05

实施日期：2026-05-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

胡迎、汪晗、崔增涛、戚芮甲、江罗、方强、马卫东、陈利斌、傅铸红、陈艳珊、魏昕、江月军、刘军航、王露、郑阳光、马彬淇、李晓、尹冬梅、蔡长青、孙福楠、吴宁捷、张琦炎、程欣、张金波、黄辉、高静、黄小强、房嵩、宫兵、任希辉、李建浩、程化鹏、陈桂淋、郭英阁、曹素英、潘振环、宋飞、樊超、侯鹏、钱吉、吴长江、侯秀华、金星屹、史兰、谢磊、滕鑫胜、廖鸿昌、赵光明、王漫、赵跃、王飞华、兰锋、方华、郑新蕊、张静、杨扬仲夫、曲强、何波、殷昊、李明、谈益强、尹乐乐、周鹏云、唐霞梅

起草单位

昊华气体有限公司西南分公司、华测检测认证集团股份有限公司、福建德天宸新材料科技有限公司、北京控制工程研究所、大连华邦化学有限公司、中石化（北京）化工研究院有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、三峡公共检验检测中心、福建恒申电子材料科技有限公司、中国计量科学研究院、中海油能源发展股份有限公司安全环保分公司、浙江泓芯半导体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国计量测试学会、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、上海凡伟仪器设备有限公司、液化空气（中国）投资有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、朗析仪器（上海）有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、河南心连心深冷能源股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、河北邯钢特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、重庆瑞信气体有限公司、深圳捷工科技股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、北京首钢气体有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、浙江省化工研究院有限公司、大连大特气体有限公司、中国计量大学、联雄投资(上海)有限公司、超谱科技（成都）有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处、贵州省产品质量检验检测院、西南化工研究设计院有限公司

标准范围

本文件规定了惰性稀有气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了采样、检验规则、标志、包装、运输及贮存要求并提供了安全信息。

本文件适用于以工业惰性稀有气体为原料提纯制得的惰性稀有气体。

标准预览图