标准编号:GB/T 28159-2025
代替以下标准:GB/T 28159-2011
中文名称:电子级磷酸
英文名称:Electronic grade phosphoric acid
发布日期:2025-08-29
实施日期:2026-03-01
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:国家标准委
起草人
曹可慰、李少平、姜飞、陈惠云、李祥庆、苏守进、胡国涛、贾成林、张淑娟、王琴、雷惠宪、李全东、黄如林、张永萍、王洪华、史泽远、赵俊莎、顾玲燕、吴怡然、聂新宇、张宝帅、陈伟、徐海圣、姚莎、李万清、叶瑞、贺兆波、黄俊群、钱森林
起草单位
中国电子技术标准化研究院、贵州磷化(集团)有限责任公司、江苏美阳电子材料有限公司、西安吉利电子新材料股份有限公司、广西川金诺化工有限公司、云南省化工产品质量监督检验站、湖北三宁化工股份有限公司、眉山胜科电子化学有限公司、湖北兴福电子材料股份有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、天富(江苏)科技有限公司、信联电子材料科技股份有限公司、江苏澄星磷化工股份有限公司、联仕新材料(苏州)股份有限公司、广西钦州志诚化工有限公司、晶瑞电子材料股份有限公司
标准范围
本文件规定了电子级磷酸的要求、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、安全等,并描述了相应的试验方法。
本文件适用于半导体集成电路、芯片、显示面板等行业用的电子级磷酸。
标准预览图

