标准编号：GB/T 26307-2025
代替以下标准：GB/T 26307-2010
中文名称：银靶材
英文名称：Siver target
发布日期：2025-08-29
实施日期：2026-03-01
提出单位：中国有色金属工业协会
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：中国有色金属工业协会
起草人
宋琦、何金江、闻明、吴卫煌、张亚东、尚再艳、张晓娜、徐国进、万小勇、杨晓艳、朱孜毅、袁学韬、王传军、应宗波、辛柏朴、刘丹
起草单位
有研亿金新材料有限公司、云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司、有研亿金新材料（山东）有限公司、金川集团股份有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、有研资源环境技术研究院（北京）有限公司
标准范围
本文件规定了银靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单。
本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的银靶材参照使用。
标准预览图
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