T/CSCP 0059.1-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第1部分：通用要求

标准编号：T/CSCP 0059.1-2025

中文名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第1部分：通用要求

英文名称：Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chip and sensor—Part 1: General requirements

发布日期：2025-09-01

实施日期：2025-10-01

团体名称：中国腐蚀与防护学会

起草人

杨小佳、李晓刚、程学群、张强、卢壹梁、黄增浩、黄路遥、郝文魁、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、马宏驰、王晓芳、杨丙坤、韩钰

北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司

本文件规定了微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，以下简称MEMS）材料腐蚀芯片及传感器的通用技术、设计、选材、制造及测试要求。

本文件适用于各类MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验与应用，用于腐蚀环境的监测与评估。