T/CSCP 0059.2-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第2部分：选材与评价

标准编号：T/CSCP 0059.2-2025

中文名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第2部分：选材与评价

英文名称：Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chip and sensor—Part 2: Material selection and evaluation

发布日期：2025-09-01

实施日期：2025-10-01

团体名称：中国腐蚀与防护学会

起草人

黄增浩、杨小佳、卢壹梁、张强、李晓刚、程学群、廖永力、郝文魁、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、马宏驰、王晓芳、杨丙坤、黄路遥、韩钰

南方电网科学研究院有限责任公司、北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司

本文件规定了微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，以下简称MEMS）材料腐蚀芯片及传感器的选材的基本原则、常用材料类型及其性能要求，以及材料评价方法。

本文件适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器在设计、制造与材料选型过程中的材料选择与性能评价，其他类型的材料腐蚀传感器也可参照使用。