GB/T 14603-2025 电子气体 卤化物气体

标准编号：GB/T 14603-2025

代替以下标准：GB/T 14603-2009;GB/T 26251-2010;GB/T 18994-2014;GB/T 14602-2014;GB/T 17874-2021

中文名称：电子气体 卤化物气体

英文名称：Electronic gas—Halide gas

发布日期：2025-08-01

实施日期：2026-02-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

赖晓峰、陈施华、郭晓俊、马建修、李智、孙芳、钱吉、赵斌、李文、李长健、徐正军、郑存强、董晓阳、陆岩柱、黄韬、汤萍、李景升、赵银凤、杨俊豪、王新喜、李庭辉、郑秋艳、常侠、牛迪、赵跃、王军锋、辛伶、杜雨桐、王祥科、张金波、张朋越、赵洁、何波、唐中伟、尹乐乐、周鹏云、杨军、李建新、李嘉磊、王哲军、郭琼、侯鹏、吴希湖、刘春花、彭佛晓、任如、倪志远、赵晓兰、陈志强、王红球、吴禹强、何经余、施旖旎、陈艳珊、刘光宇、吕磊、滕鑫胜、孙福楠、殷昊、王若雯、李安林、方华、黄辉、李建浩、李明、宫兵、杨扬仲夫、任希辉、程化鹏、谈益强、唐霞梅

起草单位

昊华气体有限公司西南分公司、山东合益气体股份有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、大连华邦化学有限公司、福建永晶科技股份有限公司、上海栎智半导体科技有限公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、同方威视技术股份有限公司、宁波从越科技创新有限公司、福建久策气体股份有限公司、大连科利德半导体材料股份有限公司、南大光电（乌兰察布）有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国计量大学、中国计量测试学会、上海凡伟仪器设备有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、福建德尔科技股份有限公司、浙江瑞亨电子材料有限公司、福建福豆新材料有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、迪森尔（北京）科技有限公司、唐山三友电子化学品有限责任公司、广州广钢气体能源股份有限公司、北京鉴知技术有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、液化空气（中国）投资有限公司、杭州云必技术有限公司、大连大特气体有限公司、朗析仪器（上海）有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处、贵州省产品质量检验检测院、西南化工研究设计院有限公司

标准范围

本文件规定了卤化物气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了采样、检验规则、标志、包装、运输及贮存要求并提供了安全信息。

本文件适用于以工业卤化物气体为原料提纯制得的卤化物气体。

标准预览图