标准编号:GB/T 16942-2025
代替以下标准:GB/T 16942-2009;GB/T 14604-2009;GB/T 16945-2009;GB/T 16944-2009;GB/T 16943-2009
中文名称:电子气体 大宗气体
英文名称:Electronic gas—Bulk gas
发布日期:2025-08-01
实施日期:2026-02-01
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:国家标准委
起草人
赵帅德、茹高艺、吴亚莲、王帅、管仲、侯鹏、何经余、周勇、许高坡、贾厚成、史兰、江月军、刘军航、董云海、杨忠林、李建浩、程化鹏、谈益强、兰锋、高静、常侠、牛迪、依俊廷、黄辉、张金波、宫兵、赵洁、杨扬仲夫、杨康、周鹏云、祝岩、李博、叶相平、代井平、钱吉、吴禹强、单鹏、邓韬、张松、徐正军、金星屹、赵颖毅、黄英、谢世鹏、孙福楠、郭琼、尹乐乐、王飞华、殷昊、张薇薇、方华、赵艳超、尹冬梅、王漫、王大为、张朋越、任希辉、何波、唐霞梅
起草单位
昊华气体有限公司西南分公司、上海亿钶气体股份有限公司、浙江省质量科学研究院、大连华邦化学有限公司、四川空分设备(集团)有限责任公司、上海韩科科技有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、宏芯气体(上海)有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、朗析仪器(上海)有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、大连大特气体有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国计量大学、中国计量测试学会、上海凡伟仪器设备有限公司、广东华特气体股份有限公司、河南省计量测试科学研究院、江苏华中气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、广州广钢气体能源股份有限公司、上海栎智半导体科技有限公司、重庆瑞信气体有限公司、深圳捷工科技股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、贵州省产品质量检验检测院、浙江泓芯半导体有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、联雄投资(上海)有限公司、中国计量科学研究院、沈阳中复科金压力容器有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处、西南化工研究设计院有限公司
标准范围
本文件规定了大宗气体的技术要求,描述了相应的试验方法,还规定了采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以空气为原料分离净化,或以工业大宗气体为原料提纯制得的容器包装的大宗气体。