标准编号：GB/T 32996-2025
代替以下标准：GB/T 32996-2016
中文名称：表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
英文名称：Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow discharge optical emission spectrometry
发布日期：2025-06-30
实施日期：2026-01-01
提出单位：全国表面化学分析标准化技术委员会
归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会
批准发布部门：中国科学院
起草人
陈永康、徐建、张笑旻、郝萍、刘芬、吴立敏、赵志娟、张云艳、王帅、周莹
起草单位
上海市计量测试技术研究院、中国科学院化学研究所、上海科技大学
标准范围
本文件描述了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。
本方法适用于测定金属上厚度为5nm~10000nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰、锆和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
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